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高真空试验平台系统搭建

新闻中心 2022-06-17 10:46:20 阅读量 ()

该系统腔室满足上方开门方式，实现方便开炉门，进而实现方便放置和取出样件。腔体真空度可达1E-4Pａ

该系统腔室满足上方开门方式，实现方便开炉门，进而实现方便放置和取出样件。腔体真空度可达1E-4Pａ
腔室配有以下接口：
（1）激光入口：在腔室正上方，激光射入腔室内样件平台，对平台上的样件进行激光照射；
（2）热成像仪检测口：在腔室上方斜45°，热成像仪可检测腔室内样件的温度；
（3）CCD检测口：在腔室上方斜45°，CCD系统可检测腔室内工艺状态；
（4）腔室内部设置样品台，尺寸在10厘米*10厘米，配套热电偶，最大检测温度1600℃）；
（5）真空接口：在腔室侧面，可接真空泵；
（6）工艺气体进入口：在腔室侧面，可接质量流量计；
（7）气体报警接口：在腔室侧面，可接入气体报警的相关传感器。